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深圳证券交易所

股票代码:002819

股票代码

SZ002819

400-650-5566
东方中科专注于半导体产品市场,提供等离子沉积、刻蚀、椭偏仪等测试设备
半导体设备品牌索引
公司 主要产品 概况
  • SENTECH
    等离子加工设备:等离子刻蚀(ICP、RIE)、沉积(PECVD、ICPECVD),原子层沉积(ALD)。
    光学检测设备:各类激光、光谱椭偏仪,膜厚测试仪等;
    光学检测设备可测量膜层折射率、厚度等信息,快速可靠;等离子加工设备可满足各种半导体材料在器件工艺中的刻蚀沉积要求。
  • FEMTO
    等离子清洗机、等离子去胶机、派瑞林镀膜机
    小型等离子设备,性价比高,也可实现基本RIE、ICP设备功能。
  • KEITHLEY
    4200半导体参数测试分析仪及各类探针台。
    模块化设计,可测量IV、CV及高频特性下参数。
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